泛半导体行业
宣布时间::
2022-06-27

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废气泉源::电子元件和光伏等制造时,切割液溶剂挥发、、、粘结历程胶水溶剂挥发、、、油墨、、、涂料等物料调配历程中溶剂挥发、、、烧结历程溶剂挥发、、、印刷历程浆料、、、油墨溶剂挥发、、、涂装历程涂料溶剂挥发、、、清洁洗濯溶剂挥发、、、注塑历程注塑废气等。光电显示器件的阵列、、、彩膜、、、成盒、、、模组等生产工序爆发的酸性、、、碱性、、、有机废气及含氟废气等;集成电路制造的掺杂、、、光刻、、、刻蚀和薄膜生产工艺爆发的酸性、、、碱性、、、砷烷、、、磷烷、、、有机废气;


废气组分::聚乙二醇、、、甲苯、、、二甲苯、、、松油醇、、、乙醇、、、异丙醇、、、丁醇、、、丙醇、、、丁酮、、、醋酸乙酯、、、醋酸丁酯、、、酯类、、、醇类、、、甲醛、、、异丙醇、、、丙烯腈、、、苯乙烯、、、非甲烷总烃等。磷酸、、、乙酸、、、硝酸、、、盐酸、、、氮氧化物、、、氟化物、、、硫酸、、、氯气、、、氢氧化钾、、、氨等;粉尘、、、NOx、、、NF3、、、C2F6、、、CF4、、、C3F8、、、CHF3、、、SF6等氟化物;苯、、、醇、、、烷烃、、、醚、、、酮、、、酯类;硅烷、、、磷烷、、、砷烷等;


废气特点::风量大、、、污染物浓度易波动、、、因素重大、、、部分有侵蚀性;


治理工艺::酸碱废气(湿式洗涤吸收);高浓度有机废气(RTO/CO/RCO/TO);低浓度有机废气(“预处理+沸石转轮吸附浓缩-RTO”、、、“预处理+牢靠床活性炭或分子筛沸石吸附浓缩-CO”、、、“吸收+光催化”、、、“吸收+吸附”、、、“吸附”等组合工艺;


排放限值::NMHC及其它指标详见《大气污染物综合排放标准》、、、《挥发性有机物无组织排放控制标准》或各地地标。


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